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洁净室（区）高效过滤器检漏测试的目的是确认过滤器系统安装正确，使用过程中无渗漏发生。洁净室高效过滤器检漏测试包括滤材、过滤器边框、密封垫和支撑架在内的整个过滤系统。已装过滤系统的检漏在“空态”或“静态”下进行，且该项检测是在新建洁净室调试时，或现有设施需要再检测时，或更换了末端过滤器之后进行。

ATI生产的手提悬浮微粒子产生器，广泛地应用于小如手套箱，大如洁净房中的HEPA过滤器的测试要求。当要验证洁净房或个别过滤装置中可能由高至低相差很大的悬浮微粒子体积和浓度，或没有压缩空气，或便携性是必要的时候，TDA-5C烟雾发生器厂家是一部合适的机器。

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